可见光波段Si

为提高手机显示屏的耐摩擦、防划伤能力,降低显示屏破碎的风险,研制了在可见光波段的硬质增透膜。通过逐步提高设计中SixNy膜层厚度在薄膜总厚度中所占的比例,优化沉积工艺,改善薄膜硬度。根据增透膜的设计理论、合理的膜层分组方式和逆向反演分析法完成膜系设计,降低了薄膜反射率。测试结果表明,在可见光波段范围内,薄膜的平均反射率为0.58%,硬度达到15.99 GPa。