用光子显微镜无损检查晶片 上传者：追梦客 2021-02-23 17:48:33上传 PDF文件 605.85KB 热度 46次 日立制作所研制成“扫描光子显微镜”,其原理是:当光照射半导体晶片时,在有结晶缺陷、污染、损伤的部分所产生的表面光电压比正常部存的要低,利用这一现象在晶片上进行光斑扫描,以非接触方式读出各点产生的光电压变化,经数据处理后用与电压值相对应的浓淡图像显示。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
