全硅片上光互连用波导
较详细地分析了用于全硅片上光互连所用光波导(如多晶 Si/ SiO2、Si/ SiO2、Si3N4/SiO2)需满足的基本条件、制作方法以及损耗机制, 总结了目前的研究进展。
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