耐高温全金属化封装的光纤法布里珀罗干涉仪和光纤光栅复合传感器

利用非本征型光纤法布里珀罗干涉仪(EFPI)和光纤布拉格光栅(FBG)制作了一种温度和应力同时测量的复合光纤传感器。采用超高真空磁控溅射镀膜、电镀及激光焊接技术实现了光纤传感器的耐高温全金属无胶化封装。实验结果表明:在290 °C温度条件下传感器的应力灵敏度为90 pm/N,具备良好的线性测量能力(约0.9965);传感器的温度灵敏度为12 pm/°C,线性度可达到0.9988,其温度补偿效果较好。实验结果同时证明了采用超高真空磁控溅射镀膜及激光焊接技术实现光纤传感器耐高温全金属化封装方法的可行性与有效性。