大气和真空条件下增透膜的损伤研究

研究了在真空和空气中暴露于1064 nm纳秒激光脉冲的减反射膜的损伤特性。 比较了真空和空气环境下的激光诱导损伤阈值(LIDT)。 使用光学显微镜和扫描电子显微镜(SEM)对损伤形态进行局部分析。 通过Alpha2Step 500 m分析了两种环境中损伤部位的深度。 基于温度分布,吸收和真空气态成分测量以及气压影响分析,讨论了在两种环境下观察到的破坏之间的差异。 等离子体激波与涂层中吸附水的耦合性增加可能被认为是在真空中观察到的低LIDT的主要原因。