基于图像锁相的薄膜吸收多通道检测技术

从理论和应用两方面对光学薄膜吸收缺陷的检测方法进行了研究。基于CCD摄像机的图像锁相技术, 提出了不同于传统逐点扫描方法的多通道薄膜吸收检测方法。基于逐点扫描法和图像检测法, 分别计算了大区域内薄膜单点缺陷所对应的吸收分布, 结果证明了图像法应用于较大口径薄膜元件吸收检测的可行性。计算和实验表明:相对于逐点法, 图像法测量薄膜速度可以提高上百倍, 避免了逐点扫描法中耗时长、效率低的不足, 扩展了光热技术在大口径镀膜光学元件中的应用。