高灵敏复合光波导硫化氢气体传感器的研究

通过浸渍提拉法制备出TiO2薄膜/锡掺杂玻璃复合光波导(OWG)元件,在其表面利用旋转甩涂法固定一层酞菁锌(ZnPc)敏感层,制备了高灵敏度的硫化氢(H2S)复合OWG气体传感器。优化传感器的制备条件,当提拉机的提拉速度为80 mm·min -1、匀胶机转速为1600 r·min -1、ZnPc的质量分数为0.05%时,该传感器对H2S气体的选择性响应最佳,可以检测到体积分数为1×10 -9的H2S气体。此外,该传感器在一个月内表现出良好的稳定性。