用相位调制方法测量光盘盘基应力双折射的精度分析

Name: 用相位调制方法测量光盘盘基应力双折射的精度分析
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Author: VergilYe

上传者：VergilYe 2021-02-23 03:07:09上传 PDF文件 1.97MB 热度 32次

偏振相位调制方法是测量微小双折射的一种高精度检测方法。本文系统全面地分析了以PMCSA结构形式测量光盘盘基应力双折射的相位调制方法中,由各种误差源造成的对测试结果的影响。

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