正交柱面镜像散位移测量方法的研究

为了实现物体位移测量的高精度,无损伤和简单化,对柱面镜像散效应进行了研究,利用正交柱面镜像散效应实现物体的位移测量。根据高斯光线追迹的矩阵方法,建立正交柱面镜的矩阵光线传播模型,并利用Zemax进行仿真验证;给出了正交柱面镜像散位移测量系统的矩阵传播模型,并具体分析了系统的量程和分辨率;进行实验验证,在5.6 μm 量程范围内,实现了精度为200 nm 的移位测量。该方法为位移测量提供了一种新的非接触、高精度的光学测量方式。