微小孔阵列垂直腔面发射激光器的研究

Name: 微小孔阵列垂直腔面发射激光器的研究
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Author: cishitianya

上传者：cishitianya 2021-02-23 00:05:47上传 PDF文件 769.81KB 热度 56次

在980 nm波长的大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)的基础上制备了高输出功率的微小孔阵列半导体激光器,其最大输出光功率达到了1 mW。介绍了针对微小孔阵垂直腔面发射激光器的特殊制备工艺,并对其特性进行了分析。

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