光波导覆层热膨胀系数对应力双折射影响的分析
用有限元方法计算了硅基光波导器件的应力,得到由应力引起的双折射,从理论上分析了内应力对器件偏振特性的影响。得出结论:硅基与其它层材料热膨胀系数的不同,是引起芯区双折射的主要因素,通过掺杂、调整覆层的热膨胀系数,可以得到双折射系数较小的光波导。
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