无开关紫外激光器可提高可靠性
法国通用电气公司马科西研究所的工程师们业已找到了一条大大延长紫外气体激光器寿命的途径,并还可使其效率提高一倍。这一改进有助于实现大功率紫外激光器在半导体生产中的作用,使亚微米平版印刷和整块晶片的单程精确退火成为可能。
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