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用于离子激光器的容性耦合射频放电理论模型

上传者: 2021-02-22 13:20:49上传 PDF文件 1.46MB 热度 5次
利用两电子组模型,建立了用于离子激光器的窄电极间距中等气压下的容性耦合射频放电的自洽理论模型,研究了放电参量与射频电压之间的变化关系, 以及不同电离机制在运行模式转变中的作用,得到了窄间距射频放电在高电流模式下类似于直流空心阴极放电的结论。
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