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基于双频激光干涉技术的高精度直线度基准装置

上传者: 2021-02-22 12:49:23上传 PDF文件 120.47KB 热度 5次
提出一种高精度直线度基准装置,它以激光波长作为测量基准,采用双频激光干涉技术和直尺反转误差分离技术,在一般实验室条件下实现了优于0.1μm/m的测量不确定度。目前该装置已应用于航天质量保证体系国防校准实验室。
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