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采用同步相位检测的微小振动实时测量

上传者: 2021-02-22 07:09:41上传 PDF文件 1.01MB 热度 8次
提出了一种半导体激光正弦相位调制干涉仪.该干涉仪可以实时测量物体的微小振动.利用简单的电路构成实时相位检测器,对干涉信号中的相位信号进行同步检测,最终获得实际振动的振幅频率.文中给出了具体的理论分析和实验结果.
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