双光路自相关系统透反射率的重复精度测试

设计了一台双光路自相关的透反射率测量系统,实验测试了3种不同形态激光作光源时,系统的单点透反射率重复性精度,验证了光源的功率和偏振稳定性对此系统的影响较小。在验证性分析的基础上完善了系统的稳定性,并对系统精度进行校准。实验结果显示,在置信度为95%时,系统的重复不确定性能稳定在0.04%左右,满足大口径低透射率、低反射率光学元件均匀性测量的精度要求,为此类仪器设计提供了参数选择依据。