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利用外差干涉仪的光学系统准直方法

上传者: 2021-02-21 14:57:48上传 PDF文件 915.9KB 热度 8次
描述了基于外差干涉仪原理的用于精密空间光学的准直方法,分析了该方法进行光学系统准直的系统误差;结果表明,只要较好地控制倾斜误差和照明光源的质量,系统误差就可以消除。实验结果说明,系统的测量误差接近探测元件的分辨率。
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