虹吸动态化学腐蚀法制备近场光学显微镜光纤探针的研究

基于虹吸原理,设计了一种动态化学腐蚀法的简易装置,用于制备近场光学显微镜光纤探针。在一般化学腐蚀法的基础上,通过改变虹吸管中水的流向和流速来有效地控制探针锥角和锥长,制备出多种形貌的光纤探针。与传统的静态化学腐蚀法相比,该法具有重复性高、探针形貌可控、操作方便、实验费用低廉、制备的探针表面光滑等优点。利用该装置,成功地制备出针尖尺寸50~300 nm,针尖锥角在16°~65°之间可调的光纤探针。同时,选择适当的液位差,通过一步腐蚀法制备出针尖尺寸小于50 nm,针尖锥角125°的双锥角光纤探针。并对可能的腐蚀机理进行了探讨。