扫频光源OCT对单晶硅片制绒质量的检测 上传者：西瓜bubble 2021-02-21 09:35:52上传 PDF文件 1.25MB 热度 37次 光学相干层析(OCT)是一种新型的光学信号获取与处理方式,它可以对光学散射介质进行扫描,获得的三维图像,分辨率可以达到微米级。尝试利用扫频光源OCT对在相同的制绒溶液配比下,不同制绒时间的单晶硅片进行检测,通过处理三维图像数据,判断制绒质量,为单晶硅制绒检测提供一种新方法。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
