利用COMSOL软件对1D BPM电极影响的仿真及分析

基于微机电系统(MEMS)微加工技术和Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 (PMN-PT)电光材料设计的一维二进制码相位调制器(1D-BPM)可用于激光显示技术中的散斑消除。建立了1D-BPM数学模型,推导出电极在PMN-PT片内产生的电场和PMN-PT折射率变化导致通过的光束相位变化的关系。采用有限元分析方法仿真了电极几何尺寸对相位的影响,发现当电极尺寸在亚微米级时,两电极间相位分布不仅依赖于电极产生的电场大小,而且受到电极几何尺寸的影响。电极角效应是器件设计及优化时需考虑的重要因素。