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强激光辐照下硅基片超薄多层金属镜的热畸变

上传者: 2021-02-20 19:56:54上传 PDF文件 120.25KB 热度 9次
对硅基片超薄多层金属镜在CO2激光辐照下的热特性进行了实验观测与理论分析.给出了超薄多层镜的结构设计方案,以及不同激光功率情况下镜面热变形与激光照射时间的关系曲线.结果表明,当反射镜吸收功率为120 W,光照时间为4 s时,普通硅镜的热变形量为0.71 μm;同等条件下硅基片超薄多层金属镜最大热变形量仅为0.25 μm.理论计算与实验结果基本相符.
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