基于工艺的连续相位板设计

为改善惯性约束聚变(ICF)系统中聚焦光束质量,降低元件的加工难度,建立了基于工艺的连续相位板(CPP)理论设计模型,并从初相选取、相位展开、滤波、焦斑频谱控制等多方面改进了传统的G -S算法,比较分析了传统设计方法和基于工艺设计方法设计的CPP的加工特性和焦斑性能。基于工艺设计的CPP面型光滑,其产生的焦斑顶部均方根(RMS)和能量利用率η分别从传统G -S的62.8%和98.0%改进到16.9%和98.6%,而且有效抑制了10-100 μm的频谱成分。结果表明,基于工艺的CPP设计方法能够较好满足现有工艺约束条件和物理需求。