微透镜列阵的离子束刻蚀及衍射效率测量 上传者：testmad 2021-02-19 23:04:41上传 PDF文件 519.15KB 热度 43次 采用Kaufman离子刻蚀微透镜列阵并采用实时检测系统对刻蚀深度进行了控制.提出了测量微透镜列阵衍射效率的一种方法,对测量误差进行了讨论. 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
