1.30 μm/1.55 μm SiGe多模干涉滤波器

用多模干涉原理分析和设计了光通信波长(1.30 μm~1.55 μm)的Si1-xGexSi滤波器,并用模的传播分析方法对其传输特性进行了研究。结果发现,在Ge含量x=0.04时,干涉区的脊高和宽度分别为6.35 μm和8 μm。如果多模干涉区长度LM=2302.5 μm,可滤1.30 μm而通1.55 μm的波长。且具有31dB的对比度和0.01dB的插入损耗;如果多模干涉区长度LM=2512.5 μm,可滤1.55 μm而通1.30 μm的波长。具有16dB的对比度和0.09dB的插入损耗。