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飞秒激光对半导体材料及器件烧蚀效应研究进展

上传者: 2021-02-18 04:03:47上传 PDF文件 6.2MB 热度 14次
简要评述了国内外关于飞秒激光烧蚀半导体材料的理论研究、数值模拟和实验研究进展,报道了飞秒激光对几类光电探测器件损伤阈值的研究结果。
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