一种新型的变形镜促动器排布方式设计与分析

对于薄反射镜面背部排布垂直于镜面的力促动器的变形镜,其原理可以采用微分方程表示。理论分析表明,这种变形镜要实现对低阶误差的高精度有效校正,需要在变形镜的有效口径外排布一定数量的促动器。采用有限元建模和分析技术,对基于力的支撑校正方式的变形镜进行了分析,对比了9促动点不同支撑位置时变形镜对离焦、象散和彗差三种低阶像差的校正能力,设计了支撑点内圈6点(有3个固定点)位于有效口径边缘、外圈6点位于外边缘的排布方式,大大提高了变形镜对难于校正的彗差的校正能力。最后比较了波前校正和模态校正方式在这种新型排布下的不同。