电涡流传感器用于压电双晶片微夹钳的振动测量

随着微机电系统(MEMS)技术和精密机械加工技术的发展,越来越多的微小零件被加工制造出来,需要通过装配实现完整功能。压电双晶片微夹钳在微装配领域 有着广泛应用,其夹持对象一般为几何尺寸在10 m~1 mm范围的微小型结构件。由于夹持对象尺寸小,结构易被损坏,微夹钳必须具有夹持力检测对象功能用以监控操作过程中零件所受夹持力大小,并以此作为反馈进 行对微夹钳张合量的控制。 这样的微夹钳的振动位移是非常小的,一般也就是是微米到几十微米的变化,对于选择测量的仪器就必须要有高精度的仪器,一般选择传感器的精度原则都是选择比要求小一个数量极的,也就是选纳米级的传感器。 压电双晶片微