紫外激光扫描描画装置

最近,日本富士通研究所研制成在印刷线路板上描画电路图的高分辨率紫外激光扫描装置,它由新开发的激光光源和将激光聚焦的透镜系列等组成的光学系统,以及能对激光扫描和照射误差进行修正的控制电路系统组成。整个装置采用短波长紫外激光,所用的氩激光器产生的紫外光波长为363.8毫微米,透镜系列则采用紫外光损耗少的石英系列玻璃。