纳米硅薄膜被动调Q的激光二极管抽运Nd:YAG/LBO蓝光激光器

在激光二极管端面连续抽运Nd:YAG激光器中,采用由射频磁控溅射技术和热处理制备的纳米Si镶嵌SiNx(nc-Si /SiNx)薄膜作为可饱和吸收体,实现了946 nm激光的被动调Q运转,同时采用三硼酸锂(LBO)晶体对946 nm光脉冲进行腔内倍频,获得了473 nm蓝光脉冲输出。当抽运功率为8.5 W时,输出的蓝光脉冲平均功率为120 mW,脉冲重复频率为23.8 kHz,脉冲宽度为45 ns,峰值功率为112 W,光光转换效率为1.41%。实验还研究了蓝光脉冲平均功率、脉冲重复频率和脉冲宽度随抽运功率的变化。理论分析认为,nc-Si/SiNx薄膜对946 nm激光的双光子饱和吸收导致了N