光学制造中频残差对光学调制传递函数的影响

为了研究光学表面制造残差对成像系统性能的影响,提出了基于光学系统出瞳位相差的空间频段误差划分方法,推导出了统计意义下的中频(MSF)误差对调制传递函数(MTF)的影响函数解析式,确定了MTF 受中频误差影响的特征分辨率.对比低频(LSF)误差与MSF 误差影响的区别,MSF 误差导致系统调制传递函数从低分辨率处开始迅速下降,并根据中频影响函数解析式得到MSF 误差导致MTF 曲率突变特征分辨率.