基于光学性能评价自由曲面离轴三反系统加工误差分析

超精密加工过程存在的加工误差影响着器件的面形误差, 进而影响光学性能。制造者往往从面形精度方面来评价加工精度, 但是光学性能才是光学系统的最终评价指标, 仅仅关注加工过程中加工误差对单个面的面形误差影响是不够的, 加工误差对系统光学性能的影响需要进一步研究。基于多体系统理论和光线追迹理论建立了加工误差影响分析模型, 探索了加工误差对面形误差和光学性能的影响, 得出了系统主要的面形误差形式及其对系统调制传递函数(MTF)的影响关系, 并根据系统对光学性能的要求得出了加工误差、面形误差和角度公差, 从而找到了影响三反系统光学性能的重点加工误差, 研究结果可为离轴三反系统加工误差的控制及光学质量可控