掺镁铌酸锂晶体的ICP刻蚀性能

掺镁铌酸锂晶体(MgLiNbO3)是一种相对难刻蚀的晶体,MgLiNbO3的干法刻蚀速率和刻蚀形貌控制是铌酸锂光电子器件加工中的关键技术之一。采用牛津仪器公司的Plasmalab System 100以SF6/Ar为刻蚀气体,具体研究MgLiNbO3的刻蚀速率随着感应耦合等离子体(ICP)功率、反应离子刻蚀(RIE)功率、气室压强和气体流量配比等刻蚀参数的变化,同时研究发现SF6/(Ar+SF6)气体流量配比还会影响刻蚀表面的粗糙度。实验结果表明:在ICP功率为1000 W,RIE功率为150 W,标准状态(0 °C,1个标准大气压)下气体总流量为52 mL/min,压强为0.532 Pa,SF