用于激光光束检测的夏克哈特曼传感器参量设计

夏克哈特曼波前传感器因其可以同时测量激光的强度及相位信息,已广泛用于激光光束质量检测中。根据实际检测的要求,设计夏克哈特曼传感器系统的参数是构建检测系统的重要一环。综合考虑了夏克哈特曼传感器的动态范围、灵敏度和精度等要求及其相互制约问题,进行了夏克哈特曼传感器的参数设计。 说明了具体的指标设计过程,并根据设计指标,研制了激光光束检测系统。系统实际达到的单孔径的动态范围为3.7λ(λ=632.8 nm),灵敏度为0.01λ,菲涅耳数为2.468,符合激光光束检测系统的要求。