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正弦相位调制的光栅干涉法测量振动物体面形

上传者: 2021-02-09 20:59:03上传 PDF文件 300.95KB 热度 12次
利用正弦相位调制的光栅干涉仪测量振动物体的面形,采集振动物体引起相位变化的干涉条纹,经傅里叶变换解调相位,重建振动物体的面形。结果表明正弦相位调制的光栅干涉系统不仅具有较高的测量精度,而且还能测量振动物体的二维面形。
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