激光蚀刻的新方法 上传者:iilgcn 2021-02-09 17:54:48上传 PDF文件 589.78KB 热度 17次 大阪大学S. Namba教授等人研究出一种能高速进行精细加工而不损坏基片的新激光蚀刻法。该法利用了可见氩离子激光照射时四氯化碳(一种反应气体)和基片表面间所发生的“光泵热化学反应”。据称这种方法成本低,无须掩模即可加工细的布线图案,速度比用紫外准分子激光快三个数置级。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 iilgcn 资源:429 粉丝:0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台,下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容!联系邮箱:server@dude6.com