复合分布式布拉格反射镜结构AlGaInP发光二极管

采用金属有机化学气相沉积系统外延了具有三个不同反射中心波长的AlAs/Al0.5Ga0.5As复合分布式布拉格反射镜(DBR), 利用透射电镜、X射线衍射仪表征其结构、厚度和组分, 利用白光反射谱表征其反射谱强度和带宽。结果表明:该复合DBR比常规DBR和两个反射中心波长复合DBR具有更高的反射谱强度和更宽的带宽。利用该复合DBR制备了AlGaInP发光二级管(LED), 尺寸6.0 mil×6.0 mil(1 mil=0.0254 mm), 并在20 mA测试电流下测得其输出光功率为3.54 mW, 发光效率为17.26 lm/W, 外量子效率为8.77%, 相比常规DBR制备LED输出光功