测量近红外焦平面传递函数的全反光学系统

针对近红外InGaAs焦平面(FPA)调制传递函数(MTF)的测量要求,设计了一种全反射式Offner光学系统,由两块共轴的球面反射镜构成,11成像,F数为4。在焦平面工作波长1.7 μm下对光学系统进行优化,设计结果显示,在8 mm×30 mm的宽视场(FOV)内任一点,空间频率20 lp/mm处(对应光敏元尺寸25 μm×25 μm的焦平面的Nyquist频率),光学系统的MTF在1.7 \mm达到0.82,接近衍射限。Zygo激光干涉仪在0.6328 μm波长下的测量结果显示,系统的波前差均方根(RMS)值在0.6328 \mm约为1/20 λ,20 lp/mm处MTF在0.6328 \