单挡板金属 电介质 金属波导耦合圆盘腔级联多Fano共振差动传感

基于表面等离子亚波长结构的传输特性与光子局域特性, 提出了一种单挡板金属-电介质-金属(MDM)波导耦合圆盘级联结构。由圆盘级联形成的孤立态与金属挡板形成的较宽连续态干涉相长相消, 形成了两种不同模式的Fano共振。结合耦合模理论, 分析了该结构形成Fano共振的传输特性, 采用有限元分析法对结构进行了模拟仿真, 定量分析了结构参数对折射率传感特性影响。根据折射率变化的物理机制, 分析了温度和湿度在实际测量过程中对测量结果的影响, 并采用差动传感的方法有效解决了传感过程中的交叉敏感问题。