基于泰伯 莫尔干涉技术的焦距测量系统校准技术研究

研制了一套用于测量超长焦距的泰伯-莫尔干涉仪,并设计了一套校准设备和方法对泰伯-莫尔干涉仪的测量不确定度进行评定,核准焦距范围达100 m。校准设备包括了一套焦距发生器和激光光源,利用经过计量的标准透镜和实验对焦距发生器进行标定、测量和量值溯源。通过实验结果分析和计算,可知该校准技术具有良好的测量不确定度,能够对基于泰伯-莫尔方法的焦距测量系统进行精确校准。