基于Fabry Perot激光谐振腔的量子真空计量技术研究

研发了基于Fabry-Perot激光谐振腔的量子真空计量装置,利用拍频和PDH(Pound Drever Hall)激光锁频技术,精确测量了充气前后腔内谐振激光的频率变化。在温度为299.1485 K,真空度为10 2~10 5 Pa的条件下,对干燥Ar折射率进行了测量;结合电容薄膜真空计的测量结果,得到折射率与真空度之间的相关系数为2.50835×10 -9,并对比分析了反演真空度与测量结果之间的差异,最后评定了激光频率不确定度及折射率和真空度测量不确定度。结果显示,激光频率不确定度为5×10 -12,折射率测量不确定度为1.64×10 -8, 真空度测量不确定度为2.5×10 -4。所研制