镓砷的化学拋光

电子元件工艺实验室的沙里文(Miles V. Sullivan)和科耳布(George A. Kolb)发明了一种拋光镓砷的方法。这种方法比以往常用的方法拋光得又亮又平。他们把溶解在甲醇中的溴作为化学腐蚀剂,同时使用电拋光锗和硅用的旋转拋光轮。依靠这种联合,所有通常的镓砷表面都能在室温下拋得比一般化学拋光更平。将镓砷薄片附着于一个小块的表面上,然后用5微米的铝樊土手搓约一分钟直到所有薄片在同一平面内。这个小块紧靠在用Pellon拋光复盖的8〃盘上,然后放在甲醇溶溴的腐触剂中浸一夜。