Accuracy Analysis and Data Processing of Swing Arm Profilometry in the Testing o

大型空间望远系统主镜口径已经达到4 m,因此要求具有加工检测到4 m量级非球面的能力。为了完成4 m量级反射镜研磨和粗抛光阶段的检测任务,提出了利用摆臂轮廓仪检测的方法。建立了检测的数学模型,再通过理论分析和计算机模拟,分别对臂长误差、气浮转台编码器误差、对心误差、倾角误差等系统误差进行分析与标定,并利用直径为1080 mm的球面反射镜,验证了数学模型的正确性。计算结果表明,限制摆臂轮廓仪检测精度的主要是对心误差和倾角误差,针对上述结果,给出了提高摆臂轮廓仪测量精度、减小测量误差的方法,对超大口径反射镜检测有一定的参考意义。