成像激光雷达中的MEMS振镜振动特性研究

分析了激光成像雷达系统中的微机电系统(MEMS)振镜的振动特性,对影响MEMS振动角度的关键因素:频率和驱动电压对振动角度的影响进行了实验测量。研究结果表明,选择60~200 Hz要求的扫描频率、60 V以上的驱动电压可以实现角度相对较大、同时又能满足系统64~256 s-1分辨率要求。