离焦补偿算法提高曲率半径测量精度的研究

基于立式Fizeau 型干涉仪曲率半径测量系统,提出了一种简捷的离焦补偿算法,该算法对猫眼和共焦零位置的离焦量进行补偿,达到了提高曲率半径测精度的目的。从理论的角度分析了待测面波前像差中的离焦量与待测面位置偏移量之间的线性关系,并得到了两者之间变化的斜率。结果表明,猫眼和共焦零位置附近离焦量的大小与待测面位置偏移量之间为线性关系,且拟合直线的斜率与理论值相一致。同时,当待测面在共焦位置存在离焦时,利用离焦补偿算法使曲率半径测量精度提高了一个数量级。