基于均匀光辐射法测量CCD器件量子效率

量子效率是电荷耦合器件(CCD)最主要的参数之一,针对目前CCD器件量子效率定标需求,提出了一种均匀光辐射法测量CCD器件量子效率方法,并对系统的不确定度进行了评定,得到系统的扩展不确定度为3.6%。同时选用CCD器件对系统扩展不确定度进行验证。实验结果表明,在300~1100 nm波长范围内,选用的三个波长点最大的重复性为0.42%,因此说明系统的不确定度分析是合理的。该系统完全可以满足目前CCD器件量子效率测量需求,对生产厂家及使用单位具有重要的使用意义。