多节点激光通信天线紧凑型摆镜组件设计

为了减小多节点激光通信天线的工作包络尺寸并提高二维摆镜的运动控制精度, 提出了一种紧凑型摆镜组件。采用高体分铝基碳化硅(SiC/Al)支撑板与H-K9L反射镜直接黏接的方案, 提高了摆镜面形的热稳定性, 摆镜回转中心至镜面的距离被缩短至20 mm。黏接面采用三点薄圆环的设计, 在保证摆镜组件动态刚度的前提下有效降低了黏接应力对摆镜面形的影响。有限元分析结果表明, 摆镜组件的基频为1319.96 Hz, 在(20±5) °C工作温度范围内, 面形峰谷(PV)值优于λ/4(λ=632.8 nm), 面形均方根(RMS)值优于λ/22。使用ZYGO激光干涉仪对摆镜的面形进行检测, 结果表明, 在(20