面阵CCD光谱响应测试及不确定度评估

基于单色仪法对面阵CCD 进行光谱响应测试,并对测试结果的不确定度进行全面评估。介绍单色仪法测试CCD 光谱响应的原理;选用硅陷阱探测器作为标准探测器,搭建测试装置,得出400~1000 nm 波段内面阵CCD 光谱特性参量,其中峰值波长为602 nm,中心波长为580 nm,光谱带宽为402 nm;以632 nm 处光谱响应测试为例,建立不确定度评估模型,分析了包括面阵CCD 辐照度响应非均匀性、溴钨灯稳定性、单色仪出射波长重复性和准确度以及图像采集处理系统的稳定性对测试的影响。应用模型计算得出测试结果的合成标准不确定度为4.3%(k=1),满足面阵CCD 光谱响应测试精度要求。