一种极紫外单色仪波长定标新方法

提出了一种极紫外(EUV)单色仪定标新方法。对Mcpherson247型EUV单色仪进行波长定标,通过测量标准气体He空阴极光源的两条发射光谱30.38 nm和58.43 nm和标定过的中心波长为13.90 nm的Mo/Si多层膜反射镜的反射率峰值位置,在单色仪的运动轨迹上将所定的标准点作相应的标识,并用Origin软件进行处理。分析标定结果,得出了在12~60 nm波段内,用激光等离子体光源软X射线反射率计测量多层膜反射镜反射峰值位置时,测量准确度为0.09 nm,测量重复性为±0.04 nm。测量误差主要来源是光源的不稳定性和机械转动误差。