1540 nm发光增强∶Er掺杂β FeSi

为了增强β-FeSi2 薄膜的发光强度,通过脉冲激光轰击(PLD)β-FeSi2和Si靶材沉积于Si(1 1 1)面制备了优质的β-FeSi2/Si薄膜,薄膜表面光滑、平整,β-FeSi2颗粒尺寸在20~50 nm左右。光致发光(PL)测试显示,β-FeSi2/Si薄膜在低温下(20 K)在1540 nm 左右的近红外处有一较强发光峰,对应b-FeSi2带-带跃迁。对Si 层进行掺杂Er3+处理,发现处理后的β-FeSi2/Si∶Er 薄膜发光强度得到明显地增强,掺入Er 使β-FeSi2/Si 薄膜非辐射复合中心得到有效地抑制,且β-FeSi2/Si:Er 薄膜的红外发光来自Er3+离子的4