基于数字微镜器件并行共焦成像的光点阵列优化

数字微镜器件(DMD)的灵活性有助于实现并行共焦成像。设计并搭建了基于DMD的并行共焦成像系统, 分析了DMD光点阵列对轴向分辨率、横向分辨率和图像对比度的影响, 得出了最优光点阵列参数。结果表明: 光点越小, 则横向和轴向分辨率越高; 当光点间距大于光点大小时, 增大光点间距对成像的横向分辨率无明显改善; 对于1×1微镜, 光点间距为光点大小的4倍时对应的图像对比度最高, 即1×1光点大小、4倍光点间距为最优光点阵列。对数值孔径为0.25的物镜而言, 最优光点阵列对应的横向分辨率优于512 lp/mm, 轴向分辨率可达7.82 μm, 均达到衍射极限。基于最优光点阵列的三维体光栅成像比宽场成